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硅微尖锥冷阴极微加工及其场发射器件物理
文献摘要：
片上集成驱动控制电极的硅微尖锥是一类重要的场致电子发射阴极(冷阴极),具有驱动电压低、集成度高、加工流程与集成电路工艺兼容的特点,在微型化真空电子器件上具有应用潜力.本文介绍片上集成硅微尖锥冷阴极关键微纳加工方法及原理,分析硅微尖锥冷阴极场发射器件物理,展望硅微尖锥冷阴极的应用前景.
文献关键词：
场致电子发射;片上集成硅尖锥;自对准微加工;杂质分凝;产生电流;热助场发射
中图分类号：
作者姓名：
陈阳;章易;黄一峰;佘峻聪
作者机构：
中山大学光电材料与技术国家重点实验室广东省显示材料与技术重点实验室电子与信息工程学院(微电子学院),广东广州510275
文献出处：
引用格式：
[1]陈阳;章易;黄一峰;佘峻聪-.硅微尖锥冷阴极微加工及其场发射器件物理)[J].真空电子技术,2022(06):23-28,42
A类：
片上集成硅尖锥,自对准微加工,杂质分凝,热助场发射
B类：
冷阴极,极微,发射器,驱动控制,场致电子发射,驱动电压,压低,集成度高,加工流程,集成电路工艺,工艺兼容,微型化,真空电子器件,微纳加工,加工方法,产生电流
AB值：
0.241995
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