典型文献
极小流导分子流真空流导元件研究进展
文献摘要：
作为真空计量关键器件,真空流导元件在真空检漏及相关测量领域中发挥着重要的作用.在众多类型的流导元件中,分子流流导元件因其流导特性受到广泛的关注.概述了几种极小流导分子流真空流导元件的研究进展,包括阳极氧化多孔氧化铝、硅基微纳通道以及石墨烯分子流流导元件,介绍了它们的制作工艺及流导测试结果,各种极小流导真空流导元件的分子流压力上限均为105 Pa量级.极小流导的分子流真空流导元件可应用于非蒸散型吸气剂性能测试、真空泵抽速测试、真空室体积及密闭容器漏率测量.
文献关键词：
真空流导元件;分子流;阳极氧化多孔氧化铝;微纳通道;石墨烯
中图分类号：
作者姓名：
林文豫;王旭迪
作者机构：
合肥工业大学,合肥 230009
文献出处：
引用格式：
[1]林文豫;王旭迪-.极小流导分子流真空流导元件研究进展)[J].真空与低温,2022(06):720-732
A类：
真空流导元件,真空计量,阳极氧化多孔氧化铝,微纳通道
B类：
极小,分子流,真空检漏,多类型,流流,硅基,石墨烯,制作工艺,Pa,蒸散,吸气剂,真空泵,泵抽,抽速,真空室,密闭容器,漏率测量
AB值：
0.193125
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