典型文献
HL-2M装置质谱测量的初步结果
文献摘要：
利用四极质谱计对HL-2M真空室分别在烘烤和辉光放电清洗过程中的残余气体进行了初步测量分析,并且研究了HL-2M抽气系统中低温泵对水的抽除效果.真空室经过最高100℃烘烤后,M/q=18(H20)、M/q=28(CO)的气体分压强分别减少47.96％、17.63％;对HL-2M进行辉光放电清洗时M/q=18(H2O)、M/q=28(CO)、M/q=32(O2)的离子流显著增加,清洗产物通过抽气系统排除,有效地减少了碳、氧等杂质;在4台低温泵抽气并达到动态平衡时M/q=18(H2O)、M/q=28(CO)分压强分别减少了3.2×10-5Pa、3.7×10-6Pa.质谱测量结果为保障HL-2M装置的初始等离子体放电提供了有用的参考数据.
文献关键词：
HL-2M;质谱测量;质荷比;残余气体分析
中图分类号：
作者姓名：
周军;曹曾;曹诚志;黄向玫;高霄雁;胡毅
作者机构：
核工业西南物理研究院,成都610041
文献出处：
引用格式：
[1]周军;曹曾;曹诚志;黄向玫;高霄雁;胡毅-.HL-2M装置质谱测量的初步结果)[J].真空,2022(03):68-73
A类：
四极质谱计,辉光放电清洗,6Pa
B类：
HL,2M,质谱测量,真空室,室分,烘烤,洗过,步测,测量分析,抽气系统,中低温,低温泵,H20,气体分压,H2O,O2,离子流,泵抽,动态平衡,5Pa,等离子体放电,质荷比,残余气体分析
AB值：
0.322649
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