典型文献
电镀件的真空放气特性研究
文献摘要：
材料的真空放气特性与其表面状态息息相关,本文采用小孔流导法,比较研究了电镀件镀层材料、镀层厚度和不同基底材料下的放气特性.从实验结果可以看出,在所测试的24h时间内,材料的表面放气仍占主导作用,基底材料和镀层厚度对材料放气率的时间变化趋势和最终放气率基本没有影响.而镀层材料对电镀件的放气率影响较大,同一时间点,电镀件的放气率高于未电镀件;电镀件中,镀锌件的放气率最高.无论电镀与否,未烘烤样品放出的气体组分中H2O含量最高,其次有H2、N2/CO、CO2和O2等.而相比其它电镀件,镀锌件放出的H2O最多.电镀件放出过量的水蒸气可能会影响含钨灯丝的热阴极电离规读数的准确性.真空系统中应尽量避免使用电镀锌件.
文献关键词：
真空;放气;电镀件;镀锌
中图分类号：
作者姓名：
罗艳;王魁波;吴晓斌;谢婉露;李慧;沙鹏飞;韩晓泉
作者机构：
中国科学院微电子研究所 北京100029
文献出处：
引用格式：
[1]罗艳;王魁波;吴晓斌;谢婉露;李慧;沙鹏飞;韩晓泉-.电镀件的真空放气特性研究)[J].真空科学与技术学报,2022(08):578-583
A类：
热阴极电离规
B类：
电镀件,放气特性,表面状态,小孔,流导,镀层厚度,基底材料,24h,时间变化趋势,同一时间,烘烤,放出,气体组分,H2O,N2,出过,水蒸气,灯丝,读数,真空系统,尽量避免,电镀锌
AB值：
0.229307
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