典型文献
超大量程电容式加速度敏感结构仿真分析
文献摘要：
为适应钻地导弹、穿甲导弹等军事应用场景对加速度传感器高过载、大量程、高线性的需求,对基本MEMS加速器结构加以改进,提出一种超大量程电容式联动薄膜加速度敏感结构.通过COMSOL Multiphysics多物理场仿真软件,采用控制变量法,对结构进行有限元分析和仿真优化,确定结构的具体尺寸和性能参数,在保证量程需求的前提下进一步提高线性度、灵敏度和抗过载特性,并根据结构特点和实际条件确定基本工艺流程.仿真分析结果进一步验证了该结构的工艺可行性及应用优势.
文献关键词：
微机电系统;加速度敏感结构;超大量程;高过载
中图分类号：
作者姓名：
李明旭;揣荣岩;杨宇新
作者机构：
沈阳工业大学信息科学与工程学院,沈阳110870
文献出处：
引用格式：
[1]李明旭;揣荣岩;杨宇新-.超大量程电容式加速度敏感结构仿真分析)[J].微处理机,2022(03):21-24
A类：
加速度敏感结构,联动薄膜
B类：
超大量程,电容式,结构仿真,钻地,导弹,穿甲,军事应用,加速度传感器,高过载,MEMS,加速器,加以改进,COMSOL,Multiphysics,多物理场仿真,控制变量法,仿真优化,定结构,体尺,性能参数,高线性度,抗过载,应用优势,微机电系统
AB值：
0.295651
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