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高固有频率压阻加速度敏感芯片的结构与特性分析
文献摘要：
在悬臂梁-质量块MEMS加速度敏感结构的基础上,为提高其固有频率,拓展其应用领域,提出了一种带有直拉直压微梁的新型压阻式加速度敏感芯片,通过在结构中引入敏感微梁,达到均衡提高固有频率和灵敏度的目的.使用有限元法对结构的特性进行了仿真分析,结果表明该结构和普通MEMS加速度敏感结构相比,在保证较高灵敏度及良好线性输出的前提下,显著提高了固有频率,可达其87倍以上,同时改善了过载能力,可提高6倍以上.
文献关键词：
压阻式;加速度传感器;敏感微梁;灵敏度;固有频率;过载能力
中图分类号：
作者姓名：
杨宇新;揣荣岩;张冰;姜贵民;李新;张贺
作者机构：
沈阳工业大学信息科学与工程学院,辽宁沈阳 110870;沈阳理工大学自动化与电气工程学院,辽宁沈阳 110159
文献出处：
引用格式：
[1]杨宇新;揣荣岩;张冰;姜贵民;李新;张贺-.高固有频率压阻加速度敏感芯片的结构与特性分析)[J].仪表技术与传感器,2022(03):18-22
A类：
加速度敏感结构,敏感微梁
B类：
固有频率,悬臂梁,质量块,MEMS,直拉,拉直,压阻式,有限元法,高灵敏度,线性输出,过载能力,加速度传感器
AB值：
0.263132
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