典型文献
中红外抗CO2气体辐射负滤光片的研制(特邀)
文献摘要：
为提高中红外探测系统在载体高速运动过程中的探测精度,研制了抗CO2气体辐射的负滤光片,在非球面单晶Si基板表面,选择Ge、ZnS和YbF3作为镀膜材料,结合膜系设计基础理论,使用OptiLayer膜系设计软件对负滤光膜进行设计,石英晶体膜厚控制仪进行厚度监控.根据实验结果及膜层敏感度反演分析,优化膜厚监控方案解决了负滤光膜通带次峰过多及透射率下降等问题.测试结果表明,制备的负滤光片在4.15～4.4μm、5.15～5.5μm波段平均透射率分别为0.87％和0.23％;3.65～3.95μm、4.50～4.85μm波段平均透射率分别为87.04％和89.79％.研制的负滤光片有效提高了目标的探测精度,为中红外探测技术提供了重要的技术支持.
文献关键词：
光学薄膜;负滤光片;膜层敏感度;气体辐射;红外探测器
中图分类号：
作者姓名：
付秀华;张天翔;熊仕富;林兆文;王奔
作者机构：
长春理工大学 光电工程学院,长春 130022;长春理工大学中山研究院,广东 中山 528436;天津理工大学 功能晶体研究院,天津 300384
文献出处：
引用格式：
[1]付秀华;张天翔;熊仕富;林兆文;王奔-.中红外抗CO2气体辐射负滤光片的研制(特邀))[J].光子学报,2022(09):40-48
A类：
负滤光片,OptiLayer,膜层敏感度,中红外探测技术
B类：
外抗,气体辐射,特邀,红外探测系统,探测精度,非球面,单晶,Si,基板,Ge,ZnS,YbF3,镀膜,膜材料,结合膜,膜系设计,设计基础,设计软件,滤光膜,石英,反演分析,通带,透射率,波段,光学薄膜,红外探测器
AB值：
0.273407
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