典型文献
Bi靶激光等离子体极紫外光源以及碎屑辐射特性研究
文献摘要：
激光等离子体极紫外光源具有体积小、稳定性高和输出波长可调节等优势,在极紫外光刻领域发挥着重要的作用.Bi靶激光等离子体极紫外光源在波长9～17 nm范围内具有较宽的光谱,可应用于制造极紫外光刻机过程中所需的极紫外计量学领域.利用平像场光谱仪和法拉第杯对Bi靶激光等离子体极紫外光源以及离子碎屑辐射特性进行了实验研究.在单脉冲激光打靶条件下,实验中观察到Bi靶激光等离子极紫外光谱在波长12.3 nm处出现了一个明显的凹陷,其对应着Si L-edge的吸收,是Bi元素光谱的固有属性.相应地在波长为11.8和12.5 nm位置处产生了两个宽带的辐射峰.研究了两波长光谱特性以及辐射强度随激光功率密度的变化.结果表明,在改变聚焦光斑大小实现不同激光功率密度(0.7×1010～3.1×1010 W·cm-2)过程中,当功率密度为2.0×1010 W·cm-2时两波长处的光辐射最强,其原因归结为Bi靶极紫外光辐射强度受激光能量用于支撑等离子膨胀的损失和极紫外光被等离子体再吸收之间的平衡制约所致.在改变激光能量实现不同激光功率密度过程中,由于烧蚀材料和产生两波长所需高阶离子随着功率密度的增加而增加,增强了两波长处的光辐射.进一步,研究了双脉冲激光对Bi靶极紫外光谱辐射特性影响,实验发现双脉冲打靶下原来在单脉冲打靶时出现在波长13～14 nm范围内的凹陷消失.最后,对单脉冲激光作用Bi靶产生极紫外光源碎屑角分布进行了测量.结果表明,当探测方向从靶面法线方向移动到沿着靶面方向上的过程中,探测到Bi离子动能依次减小,并且离子动能随激光脉冲能量降低而呈线性减小.此项研究有望为我国在研制极紫外光刻机过程所需的计量学领域提供技术支持和打下夯实的基础.
文献关键词：
Bi靶激光等离子体;极紫外光辐射;双脉冲;离子碎屑
中图分类号：
作者姓名：
谢卓;王海建;窦银萍;宋晓伟;林景全
作者机构：
长春理工大学物理学院,吉林 长春 130022;长春理工大学重庆研究院,重庆 401120;长春理工大学,吉林省超快与极紫外光学重点实验室,吉林 长春 130022
文献出处：
引用格式：
[1]谢卓;王海建;窦银萍;宋晓伟;林景全-.Bi靶激光等离子体极紫外光源以及碎屑辐射特性研究)[J].光谱学与光谱分析,2022(07):2056-2062
A类：
离子碎屑,极紫外光辐射,光源碎屑
B类：
Bi,激光等离子体,极紫外光源,辐射特性,体积小,波长可调,可调节,极紫外光刻,光刻机,光谱仪,法拉第杯,单脉冲,脉冲激光,打靶,极紫外光谱,凹陷,Si,edge,固有属性,宽带,光谱特性,激光功率密度,光斑,长处,归结为,光辐射强度,激光能量,烧蚀材料,双脉冲,角分布,法线,动到,激光脉冲,脉冲能量,此项
AB值：
0.157606
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