典型文献
基于超透射现象的带通滤光膜潜在失效模式分析
文献摘要：
文章在理论方面利用亚波长孔阵结构透射峰位关系公式,针对光谱探测器件所需要的具备单峰窄带透射特性的介质-金属-介质的三层结构"双玻孔阵"结构模型的窄带单峰透射结果,基于现有的加工工艺对较常出现的上沿过刻、孔底残留和孔底过刻三种实验误差进行了潜在失效模式分析,与标准双玻孔阵模型对比结果,分析得到加工误差对窄带单峰透射的各种影响及产生的机理.对利用双玻孔阵结构的异常透射原理对入射光进行选择性透过制备出的新型像素级滤光膜系的制备工艺有一定的指导意义.
文献关键词：
近红外;双玻孔阵;带通滤光膜;表面等离激元
中图分类号：
作者姓名：
孙哲;任玉;石晶;宋晨智;周建伟;蔡红星
作者机构：
长春理工大学理学院吉林省光谱探测科学与技术重点实验室,吉林长春130022
文献出处：
引用格式：
[1]孙哲;任玉;石晶;宋晨智;周建伟;蔡红星-.基于超透射现象的带通滤光膜潜在失效模式分析)[J].光学技术,2022(02):184-188
A类：
双玻孔阵
B类：
带通滤光膜,潜在失效模式,失效模式分析,亚波长,光谱探测,探测器,单峰,窄带,三层结构,加工工艺,实验误差,模型对比,加工误差,入射光,像素级,膜系,制备工艺,近红外,表面等离激元
AB值：
0.286866
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