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典型文献
用于车载激光雷达导电滤光膜的研究
文献摘要:
为了使车载激光雷达视窗在大角度下具有高透过率并且具有除霜防雾的功能,研制了近红外导电滤光膜.选择SiHx与SiO2作为高、低折射率材料,调节氢气流量,改变SiHx的折射率及消光系数,使得SiHx可吸收可见光,同时在红外波段的吸收率较低,最终薄膜外观呈黑色.利用软件Macleod与Optilayer设计并优化膜系,使薄膜在(905±30)nm波段增透,同时减低了大角度入射时的光谱偏移量.在滤光膜最外层加镀了一层氧化铟锡(ITO)薄膜,通过调整工艺参数,在不影响光谱性能的前提下降低了方块电阻值.经测试,所制备的导电滤光膜在入射角为0.时的平均透过率为92.58%,入射角为30°时的透过率为91.9%,方块电阻值达到24Ω/square,适用于车载激光雷达视窗.
文献关键词:
薄膜;光学薄膜;氧化铟锡;方块电阻;磁控溅射
作者姓名:
付秀华;陈星聿;檀承启;朱忠尧;张静;张功;任仲举;马国水
作者机构:
长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022;长春理工大学中山研究院,广东中山528400;北京空间机电研究所,北京100049;光驰科技(上海)有限公司,上海200444
文献出处:
引用格式:
[1]付秀华;陈星聿;檀承启;朱忠尧;张静;张功;任仲举;马国水-.用于车载激光雷达导电滤光膜的研究)[J].中国激光,2022(17):22-29
A类:
SiHx
B类:
车载激光雷达,滤光膜,视窗,大角度,透过率,除霜,防雾,近红外,SiO2,折射率,节氢,氢气流量,消光系数,可吸收,可见光,红外波段,吸收率,利用软件,Macleod,Optilayer,膜系,增透,减低,偏移量,外层,氧化铟锡,ITO,光谱性能,方块电阻,电阻值,入射角,square,光学薄膜,磁控溅射
AB值:
0.355125
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