典型文献
可见光谱区线性渐变滤光片的制备、表征及退火
文献摘要：
结合多靶磁控溅射镀膜方法和自制的一维位移挡板样品台制备了基于TiO2和SiO2的可见光谱区线性渐变滤光片(LVOF).使用商用分光光度计和一维手动平移样品台对样品进行光谱表征.重点研究了退火温度和时间对LVOF透射光谱的影响.结果表明,LVOF样品的可工作光谱范围为510～700 nm,且样品上不同位置的透射光谱峰值与样品位置呈现出良好的线性关系.在300℃下进行1h真空退火处理后,样品的透射率得到了显著提升,优于60％.这表明退火处理可显著提升LVOF的性能.
文献关键词：
光学器件;线性渐变滤光片;磁控溅射;透射率;退火
中图分类号：
作者姓名：
倪康;胡二涛;王敏;王静;李安康;林一波;韦玮
作者机构：
南京邮电大学电子与光学工程学院,江苏南京210023;南京邮电大学通达学院基础教学部,江苏扬州225127
文献出处：
引用格式：
[1]倪康;胡二涛;王敏;王静;李安康;林一波;韦玮-.可见光谱区线性渐变滤光片的制备、表征及退火)[J].激光与光电子学进展,2022(23):248-254
A类：
线性渐变滤光片,LVOF
B类：
可见光谱,磁控溅射,镀膜,挡板,样品台,台制,TiO2,SiO2,商用,分光光度计,平移,光谱表征,退火温度,温度和时间,透射光谱,不同位置,谱峰,品位,1h,真空退火,退火处理,透射率,光学器件
AB值：
0.251525
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