典型文献
硒化锌晶体的高效率高质量组合抛光方法(特邀)
文献摘要：
硒化锌晶体作为常用的红外晶体材料,广泛应用于红外光学系统中.为了提高硒化锌晶体的加工质量及加工效率,提出了将磁流变抛光(MRF)与传统数控抛光(CCOS)技术相结合的方法,通过多组正交实验配置硒化锌晶体的磁流变抛光液,对一块口径为50 mm的硒化锌晶体展开磁流变抛光,再针对磁流变抛光后的表面痕迹进行传统数控抛光,在正压力为0.05～0.1 MPa范围内,经过30 min均匀抛光,硒化锌晶体的表面粗糙度由3.832 nm降低到1.57 nm,粗糙度得到明显改善.该方法有效提高了非球面硒化锌晶体的加工效率并改善了加工后的表面质量,对硒化锌晶体的非球面超精密加工具有重要的参考价值.
文献关键词：
光学制造;非球面硒化锌;磁流变抛光;粗糙度
中图分类号：
作者姓名：
杨超;张乃文;白杨
作者机构：
长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022;中国科学院长春光学精密与物理研究所,吉林长春130033
文献出处：
引用格式：
[1]杨超;张乃文;白杨-.硒化锌晶体的高效率高质量组合抛光方法(特邀))[J].红外与激光工程,2022(09):27-32
A类：
非球面硒化锌
B类：
抛光方法,特邀,晶体材料,红外光学系统,高硒,加工质量,加工效率,MRF,数控,CCOS,技术相结合,正交实验,磁流变抛光液,一块,口径,痕迹,正压力,表面粗糙度,工后,表面质量,超精密加工,光学制造
AB值：
0.200041
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