典型文献
非球面光学表面缺陷检测技术现状和发展趋势(特邀)
文献摘要：
非球面光学元件具有更大的自由度和灵活性,广泛应用在航空航天、微电子装备、光学精密测量、激光光学等诸多领域.光学元件表面缺陷将影响光学系统性能,而表面缺陷控制需要相应检测手段,高分辨率、高精度、高效率光学表面缺陷检测仍存在技术挑战.文中综述了光学元件表面缺陷类别、评价标准及检测方法,重点探讨了非球面光学元件表面缺陷检测技术及其应用范围,分析比较了各种方法的优缺点,最后对表面缺陷检测技术发展趋势进行了展望.
文献关键词：
缺陷检测;表面缺陷;非球面光学元件;条纹反射法
中图分类号：
作者姓名：
李明泽;侯溪;赵文川;王洪;李梦凡;胡小川;赵远程;周杨
作者机构：
中国科学院光电技术研究所,四川成都610209;中国科学院大学,北京100049
文献出处：
引用格式：
[1]李明泽;侯溪;赵文川;王洪;李梦凡;胡小川;赵远程;周杨-.非球面光学表面缺陷检测技术现状和发展趋势(特邀))[J].红外与激光工程,2022(09):1-20
A类：
条纹反射法
B类：
表面缺陷检测,检测技术现状,特邀,非球面光学元件,航空航天,微电子装备,精密测量,激光光学,光学系统,系统性能,缺陷控制,相应检测,检测手段,技术挑战,技术发展趋势
AB值：
0.20558
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