典型文献
耦合式MEMS微波功率传感器的研究
文献摘要：
为了从根本上解决在线式微波功率传感器灵敏度、动态范围和微波性能之间的矛盾,本文创新性地设计出一种耦合在线式MEMS微波功率传感器,将微波功率的提取和检测两个过程相互独立.根据理论解析模型,得到了灵敏度特性与耦合度的关系,分析对比了耦合度分别为10％和20％时的微波特性及灵敏度特性差异.实验结果表明:两种耦合式MEMS微波功率传感器的反射损耗均小于-20 dB,说明具有良好的反射性能;两种耦合式MEMS微波功率传感器的插入损耗均大于-1.5 dB,说明具有良好的传输性能.耦合度10％的系统灵敏度为1.2 mV/W@9 GHz、1.4 mV/W@10 GHz和0.8 mV/W@11 GHz,耦合度20％的系统灵敏度为2.4 mV/W@9 GHz、2.4 mV/W@10 GHz和1.3 mV/W@11 GHz,并具有良好的线性度.本文对于MEMS微波功率传感器研究具有一定的参考价值.
文献关键词：
MEMS功率传感器;悬臂梁;灵敏度;动态范围;耦合度
中图分类号：
作者姓名：
靳雷生;辛泽辉;王德波
作者机构：
南京邮电大学集成电路科学与工程学院 南京 210023
文献出处：
引用格式：
[1]靳雷生;辛泽辉;王德波-.耦合式MEMS微波功率传感器的研究)[J].仪器仪表学报,2022(07):94-101
A类：
B类：
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AB值：
0.233468
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