典型文献
基于超小GRIN光纤镜头的MEMS光纤声传感器及性能测试方法
文献摘要：
研究一种MEMS膜片与超小GRIN光纤镜头相结合的MEMS光纤声传感器,以及基于扫频OCT(Swept Source Optical Coherence Tomography,SS-OCT)解调系统的MEMS光纤声传感器性能测试方法.在进行建模分析的基础上,设计并研究MEMS膜片与超小GRIN光纤镜头相结合的MEMS光纤声传感器的制作工艺,搭建基于SS-OCT的声振测量系统,通过开展单频声信号、混频声信号、频率响应、声压灵敏度和系统稳定性测量实验,进行传感器的性能测试与标定.结果显示,所研究的MEMS光纤声传感器样品的频响范围为50 Hz～4.5 kHz,在频率为300 Hz时传感器声压灵敏度21.63 nm/Pa,信噪比(SNR)为44.1 dB,线性度为98.97％,重复性标准偏差为0.003.结果表明所研究的MEMS光纤声传感器可行,而且利用SS-OCT解调系统可对其传感性能进行有效测量.
文献关键词：
超小GRIN光纤镜头;MEMS;光纤声传感器;SS-OCT
中图分类号：
作者姓名：
王驰;陈伟;孙建美;郑园成;陈斐璐
作者机构：
上海大学精密机械工程系,上海200444
文献出处：
引用格式：
[1]王驰;陈伟;孙建美;郑园成;陈斐璐-.基于超小GRIN光纤镜头的MEMS光纤声传感器及性能测试方法)[J].光学精密工程,2022(12):1406-1417
A类：
光纤声传感器,Swept
B类：
GRIN,镜头,MEMS,膜片,扫频,OCT,Source,Optical,Coherence,Tomography,SS,解调系统,传感器性能,建模分析,制作工艺,声振,测量系统,单频,声信号,混频,频率响应,声压,系统稳定性,定性测量,测量实验,频响,kHz,Pa,SNR,dB,线性度,标准偏差,传感性能
AB值：
0.280915
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