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MEMS微压压力传感器的灵敏度优化
文献摘要：
为提高微机电系统微压压力传感器的灵敏度,根据硅压阻式压力传感器的工作原理介绍了影响压力传感器灵敏度的主要因素.使用COMSOL Mutilphysics有限元仿真软件开展压力敏感膜层厚度、压敏电阻摆放位置及压敏电阻长度对灵敏度影响规律的研究.根据仿真结果,减小压力敏感膜层厚度至15μm,设置压敏电阻长度为120μm,并将压敏电阻摆放至距压敏膜层边缘10μm的位置,完成了一款量程为40 kPa的MEMS硅压阻式微压压力传感器的结构优化,有效提升了传感器的灵敏度.测试结果表明,该压力传感器的灵敏度达到0.444 mV/kPa,相较于常规同量程灵敏度为0.35 mV/kPa的压力传感器,提升了26.8％.上述优化结果基本满足MEMS微压压力传感器的高灵敏度、高线性度等要求.
文献关键词：
微机电系统;微压压力传感器;COMSOL mutilphysics;灵敏度优化
中图分类号：
作者姓名：
彭时秋;朱赛宁
作者机构：
无锡中微晶园电子有限公司,江苏无锡214000
文献出处：
引用格式：
[1]彭时秋;朱赛宁-.MEMS微压压力传感器的灵敏度优化)[J].光学精密工程,2022(13):1582-1590
A类：
微压压力传感器,Mutilphysics,mutilphysics
B类：
MEMS,灵敏度优化,微机电系统,压阻式压力传感器,传感器灵敏度,COMSOL,有限元仿真,压力敏感,敏感膜,膜层厚度,压敏电阻,摆放,减小压力,量程,kPa,式微,mV,同量,高灵敏度,高线性度
AB值：
0.158263
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