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体声波谐振式日盲紫外光传感器研究
文献摘要：
提出了一种并联体声波谐振器(BAWR)与Ga2O3基MSM紫外传感器的新型高灵敏度传感器结构,即体声波谐振式日盲紫外光传感器(BAWR-UV Sensor).设计并制备了 MSM Ga2O3紫外传感器和BAWR传感器,将实测的光、暗S参数在仿真软件中封装为S1P数据模型代替MSM等效电路,用MBVD模型代替BAWR等效电路,通过并联两种结构建立了 BAWR-UV仿真模型;采用ADS软件仿真了 BAWR核心参数对BAWR-UV传感器灵敏度的影响,研究了提高灵敏度的设计方案.仿真结果表明,在0.5～4.5 GHz频率范围内,BAWR-UV的并联Q值越大,阻抗灵敏度越高,同时阻抗灵敏度随频率降低而增大,在并联谐振频率fp=0.533 GHz时获得最佳阻抗灵敏度为100 kΩ/(μW/mm2);频率灵敏度随频率的升高而增大,在fp = 4.5GHz时获得最佳频率灵敏度为1.4 MHz/(pW/mm2).最后,开展了高灵敏度日盲紫外传感器的探索.
文献关键词：
日盲紫外探测器;体声波谐振器;氧化镓;叉指传感器
中图分类号：
作者姓名：
王笑怡;林文魁;李海鸥;云小凡;曾春红;陈体威;刘义彰;孙玉华;崔奇;张宝顺
作者机构：
桂林电子科技大学广西精密导航技术与应用重点实验室,广西桂林541004;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台,江苏苏州215123;中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院,合肥215123;南京理工大学材料科学与工程学院,南京210000
文献出处：
引用格式：
[1]王笑怡;林文魁;李海鸥;云小凡;曾春红;陈体威;刘义彰;孙玉华;崔奇;张宝顺-.体声波谐振式日盲紫外光传感器研究)[J].半导体光电,2022(02):303-310
A类：
BAWR,MBVD,叉指传感器
B类：
谐振式,紫外光,光传感器,联体,体声波谐振器,Ga2O3,MSM,外传,高灵敏度,传感器结构,UV,Sensor,中封,封装,装为,S1P,数据模型,等效电路,ADS,软件仿真,核心参数,传感器灵敏度,并联谐振,谐振频率,fp,获得最佳,mm2,5GHz,MHz,pW,度日,日盲紫外探测器,氧化镓
AB值：
0.26996
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