典型文献
无需激活Ti基吸氢材料的制备及性能研究
文献摘要：
真空工作腔内的残余氢气会对砷化镓功率放大器造成严重危害,在器件内部预置吸氢材料是解决这一问题的有效技术途径.由于砷化镓器件内部有低熔点的焊料,要求吸氢材料在使用时应避免高温激活处理程序.报道一种满足该要求的无需激活吸氢材料,该材料以吸氢量较大的钛箔作为基体材料,经酸洗处理后,采用磁控溅射工艺在其表面沉积一层钯膜.通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征了Pd膜的表面及截面的微观形貌和晶体结构,通过X射线光电子能谱(XPS)分析了Pd膜的表面元素价态,利用定容法测试了材料的吸氢性能.结果表明,Pd/Ti样品的吸氢主体是Ti箔,合适的酸洗工艺可以有效去除Ti箔的氧化层,有利于提高材料的吸氢性能;Pd/Ti样品经真空退火处理更进一步提高吸氢性能.表面元素价态分析表明,经磁控溅射沉积的Pd膜为金属态.在Pd膜的保护作用下,样品经真空退火并暴露大气24 h后,在测试温度为27℃、测试氢压为1000 Pa条件下,仍具有较高的吸氢性能,12 h的累积吸氢量可达191.98 Pa·L·cm-2.
文献关键词：
吸氢材料;酸洗;磁控溅射;吸氢性能
中图分类号：
作者姓名：
史志胜;熊玉华;吴华亭;杨志民;刘晓鹏;崔建东
作者机构：
有研科技集团有限公司智能传感功能材料国家重点实验室,北京100088;有研工程技术研究院有限公司,北京101402;北京有色金属研究总院,北京100088
文献出处：
引用格式：
[1]史志胜;熊玉华;吴华亭;杨志民;刘晓鹏;崔建东-.无需激活Ti基吸氢材料的制备及性能研究)[J].稀有金属,2022(12):1567-1572
A类：
吸氢材料
B类：
Ti,制备及性能,氢气,砷化镓,功率放大器,严重危害,预置,有效技术,技术途径,低熔点,焊料,处理程序,钛箔,基体材料,磁控溅射,射工,钯膜,Pd,微观形貌,晶体结构,光电子能谱,XPS,表面元素,元素价态,定容,吸氢性能,酸洗工艺,氧化层,高材,真空退火,退火处理,更进一步,价态分析,溅射沉积,火并,Pa
AB值：
0.29644
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