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像元级倍增CCD结构的设计与验证
文献摘要：
在CCD像元内集成了由重掺杂PN结组成的APD结构,使CCD的像元具备了雪崩倍增功能.CCD实现像元级倍增,可使探测信号从探测器的探测端被增大,可提高探测器的探测灵敏度.进行了像元结构仿真、工艺仿真、像元倍增结构设计等工作,设计了 512(V)×512(H)阵列规模的像元级倍增CCD,开展了工艺流片、工艺优化、封装测试等工作,验证了 CCD的像元倍增功能.
文献关键词：
电荷耦合器件;像元结构;雪崩倍增;光电探测器件
中图分类号：
作者姓名：
王小东;刘昌举;涂戈;李佳
作者机构：
重庆光电技术研究所,重庆400060;天津大学,天津300072
文献出处：
引用格式：
[1]王小东;刘昌举;涂戈;李佳-.像元级倍增CCD结构的设计与验证)[J].光电子技术,2022(03):202-206
A类：
像元结构
B类：
CCD,设计与验证,PN,APD,雪崩倍增,现像,探测信号,探测灵敏度,结构仿真,工艺仿真,阵列规模,流片,封装测试,电荷耦合器件,光电探测器件
AB值：
0.349192
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