典型文献
高集成度多标记光刻版版图的快速处理技术
文献摘要：
介绍了一种高集成度多标记光刻版版图的快速处理技术.其中包括以下四个模块:chip芯片排布模块、标记排布模块、芯粒数统计模块和自动版号模块.在版图编辑工具L-edit中使用这些模块可以大幅提升微光刻中的高集成度多标记光刻版版图的排布效率并提高准确度,从而有效缩短掩膜版的生产周期.
文献关键词：
微光刻;高集成度;快速排布;光刻版
中图分类号：
作者姓名：
黄翔宇;马协力;金焱骅
作者机构：
中电国基南方集团有限公司,江苏 南京211153
文献出处：
引用格式：
[1]黄翔宇;马协力;金焱骅-.高集成度多标记光刻版版图的快速处理技术)[J].电子技术应用,2022(09):67-69,74
A类：
微光刻,快速排布
B类：
高集成度,多标记,光刻版,版图,快速处理,chip,芯粒,粒数,edit,高准确度,掩膜,生产周期
AB值：
0.221945
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