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MOCVD方法生长氧化锌薄膜及其极性表面发光特性
文献摘要：
氧化锌ZnO由于其高激子束缚能等特点在光电器件等方面表现出广泛的应用,制备高质量ZnO薄膜并研究其发光性能有着重要的意义.本文通过MOCVD方法在不同晶面的蓝宝石衬底上生长了不同极性表面的ZnO薄膜.扫描电子显微镜和阴极射线荧光表征结果显示得到的ZnO薄膜结晶度较好,且H2刻蚀对得到平整的ZnO表面有着重要作用.光谱测量结果显示ZnO极性面的带边发光强度要明显高于非极性面,这一发光衰减和非极性面的表面缺陷直接相关.本文的对于研究ZnO薄膜外延生长有着重要的意义,有助于进一步的光电器件应用.
文献关键词：
凝聚态物理;ZnO薄膜;蓝宝石衬底;MOCVD;阴极射线荧光
中图分类号：
作者姓名：
王剑宇;王立
作者机构：
南昌大学物理学系,江西 南昌 330031
文献出处：
引用格式：
[1]王剑宇;王立-.MOCVD方法生长氧化锌薄膜及其极性表面发光特性)[J].南昌大学学报（理科版）,2022(06):607-610,620
A类：
阴极射线荧光,非极性面
B类：
MOCVD,氧化锌薄膜,发光特性,ZnO,激子,束缚能,光电器件,发光性能,晶面,蓝宝石衬底,上生,光表,膜结晶,结晶度,H2,刻蚀,光谱测量,发光强度,一发,光衰减,表面缺陷,外延生长,器件应用,凝聚态物理
AB值：
0.301572
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