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CeO2缓冲层层数对YBa2Cu3O7-σ超导薄膜载流能力的影响
文献摘要：
为了提高超导薄膜的载流能力,本文通过MOCVD法,在1-5层(100)取向的氧化铈缓冲层薄膜上制备YBa2Cu3O7-σ薄膜.研究了缓冲层层数对YBa2Cu3O7-σ薄膜物相组成、结晶度、面内取向、微观形貌和超导性能的影响.结果表明,当缓冲层数为1-2时,薄膜呈现高度(001)取向生长;当缓冲层数为4-5时,薄膜呈现高度(110)取向生长.其中氧化铈薄膜层数为1时,YBCO薄膜结晶度和面内取向最好,其ω和Φ扫描曲线的FWHM值分别为2.63.和5.21°;随着缓冲层数的增加,YBCO薄膜结晶度和面内取向均呈现变差的趋势.氧化铈缓冲层与YBCO薄膜之间的外延生长关系为YBCO[001]//CeO2[100]和YBCO[010]//CeO2[011].缓冲层数为1的YBCO薄膜表面主要由大面积c轴取向的晶粒组成,其厚度为485 nm,沉积速率为4.85μm/h,其液氮温度(77 K)下的临界电流为20.8 A,相比于缓冲层数为0的超导薄膜临界电流有所提升.
文献关键词：
MOCVD;超导薄膜;临界电流;缓冲层
中图分类号：
作者姓名：
张博;陈志杰;潘天宇;赵培
作者机构：
武汉工程大学材料科学与工程学院 武汉430205;等离子体化学与新材料湖北省重点实验室武汉工程大学 武汉430205;绿色化工过程教育部重点实验室武汉工程大学 武汉430205
文献出处：
引用格式：
[1]张博;陈志杰;潘天宇;赵培-.CeO2缓冲层层数对YBa2Cu3O7-σ超导薄膜载流能力的影响)[J].真空科学与技术学报,2022(10):774-780
A类：
B类：
CeO2,缓冲层,层数,YBa2Cu3O7,超导薄膜,载流能力,高超,MOCVD,氧化铈,物相组成,结晶度,微观形貌,超导性能,膜层,YBCO,膜结晶,FWHM,外延生长,生长关系,晶粒,粒组,沉积速率,液氮,临界电流
AB值：
0.265105
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