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高精度快刀伺服系统构建及其特性研究
文献摘要：
快刀伺服是实现自由曲面光学曲面加工的方式之一.文中基于压电陶瓷为致动元件、柔性铰链为传动元件构建了快刀伺服系统.测试结果表明,研制的快刀伺服系统定位精度为4 nm以下,重复定位精度为4 nm以下,最大输出位移达到50 nm,运动频响在位移为20 nm时达到了 150 Hz.为后续快刀系统在自由曲面光学零件加工领域应用奠定了基础.
文献关键词：
快刀伺服;压电陶瓷;柔性铰链
中图分类号：
作者姓名：
张敏;吴祉群;陈东生
作者机构：
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621900
文献出处：
引用格式：
[1]张敏;吴祉群;陈东生-.高精度快刀伺服系统构建及其特性研究)[J].制造技术与机床,2022(01):84-88
A类：
B类：
快刀伺服系统,系统构建,自由曲面光学,曲面加工,压电陶瓷,柔性铰链,系统定位,重复定位精度,大输,输出位移,频响,在位,零件加工
AB值：
0.215209
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