典型文献
基于COMSOL的圆平面磁控溅射靶的磁场研究
文献摘要：
为了提高靶面水平磁感应强度的均匀性,设计了一种内外永久磁铁以"内圆外方,外围圆"的方式排布的圆平面磁控溅射靶阴极结构,并利用COMSOL软件对其磁场进行仿真模拟,再通过实验测量进行验证.实验验证的结果和仿真模拟的结果基本一致.圆平面磁场分布均匀,并且满足溅射磁感应强度为20～50 mT的基本要求,靶材利用率可达40％～50％,而且散热能力得到一定程度的提高.
文献关键词：
磁控溅射;圆柱靶;磁场分布;有限元分析;仿真
中图分类号：
作者姓名：
李梦飞;叶伟;杜鹏飞
作者机构：
陕西理工大学机械工程学院,陕西 汉中 723001
文献出处：
引用格式：
[1]李梦飞;叶伟;杜鹏飞-.基于COMSOL的圆平面磁控溅射靶的磁场研究)[J].电镀与涂饰,2022(16):1189-1196
A类：
圆柱靶
B类：
COMSOL,磁控溅射,射靶,磁感应强度,种内,永久磁铁,内圆外方,排布,阴极结构,仿真模拟,实验测量,磁场分布,mT,靶材,散热能力
AB值：
0.291159
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