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温度对电弧离子镀CrN过程等离子体状态及涂层结构和力学性能的影响
文献摘要：
先采用发射光谱法分析了在不同温度下电弧离子镀CrN涂层过程中的等离子体状态,并在假设局部热力学平衡的条件下计算了等离子体密度,用玻尔兹曼作图法计算了等离子体温度.根据Cr靶弧光放电特点选择镀膜工艺,在不同温度下制备了CrN涂层,并研究了其微观结构和力学性能.结果表明:随着温度升高,光谱强度先升高后降低,在350℃下电弧离子镀时等离子体光谱强度、等离子体密度及等离子体温度均最高,所得CrN涂层最致密.450℃时所得CrN涂层的纳米硬度和弹性模量都最高,力学性能最优.
文献关键词：
氮化铬;电弧离子镀;温度;等离子体;发射光谱
中图分类号：
作者姓名：
曲帅杰;郭朝乾;杨昭;代明江;林松盛;石倩;苏一凡;韦春贝;唐鹏
作者机构：
中南大学材料科学与工程学院,湖南 长沙 410083;广东省科学院新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510651
文献出处：
引用格式：
[1]曲帅杰;郭朝乾;杨昭;代明江;林松盛;石倩;苏一凡;韦春贝;唐鹏-.温度对电弧离子镀CrN过程等离子体状态及涂层结构和力学性能的影响)[J].电镀与涂饰,2022(13):934-941
A类：
B类：
电弧离子镀,CrN,涂层结构,发射光谱法,设局,热力学平衡,等离子体密度,玻尔兹曼,作图法,等离子体温度,弧光放电,点选,镀膜工艺,光谱强度,等离子体光谱,纳米硬度,弹性模量,氮化铬
AB值：
0.247742
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