典型文献
HiPIMS复合热处理制备高纯Ti2AlC MAX相涂层
文献摘要：
Ti2AlC MAX相涂层是一类兼具金属和陶瓷特性的具有密排六方结构的高性能陶瓷涂层,在电接触、高温防护、宽温域摩擦等领域具有广阔的应用前景.然而MAX相涂层的成相成分窗口窄,性能受杂质相影响大,实现高纯、致密Ti2AlC MAX相涂层的制备目前仍存在挑战.考虑沉积气压与溅射等离子体能量密切相关,采用高功率脉冲复合直流磁控溅射技术在钛合金基体上制备了TiAl/Ti-Al-C涂层,经后续热处理退火得到高纯Ti2AlC MAX相涂层,重点研究不同沉积气压对涂层退火前后的成分、微观结构以及力学性能的影响和作用机制.结果表明,随着气压不断增大,沉积态涂层厚度先增加后减少.其中低沉积气压下沉积态涂层退火后,结构中除了Ti2AlC MAX相外,还含有一定量杂质相;而在高气压下沉积态涂层退火后几乎全部转变为Ti2AlC MAX相,呈现高纯、表面光滑致密的MAX相涂层特征.相较于沉积态涂层,退火后的涂层硬度变化不大,但由于生成了Ti2AlC MAX相,涂层弹性模量有所提高.
文献关键词：
高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS);MAX相;Ti2AlC;热处理;力学性能
中图分类号：
作者姓名：
周定伟;李忠昌;王振玉;马冠水;柯培玲;胡晓君;汪爱英
作者机构：
浙江工业大学材料科学与工程学院 杭州 310000;中国科学院宁波材料技术与工程研究 宁波 315201
文献出处：
引用格式：
[1]周定伟;李忠昌;王振玉;马冠水;柯培玲;胡晓君;汪爱英-.HiPIMS复合热处理制备高纯Ti2AlC MAX相涂层)[J].中国表面工程,2022(05):236-245
A类：
B类：
HiPIMS,热处理,高纯,Ti2AlC,MAX,和陶,密排六方,高性能陶瓷,陶瓷涂层,电接触,高温防护,宽温域,沉积气压,直流磁控溅射技术,钛合金,TiAl,退火,沉积态,涂层厚度,低沉,一定量,高气压,表面光,涂层硬度,弹性模量,高功率脉冲磁控溅射技术
AB值：
0.248917
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