典型文献
精密透镜系统的模型预测热控方法
文献摘要：
针对半导体光刻领域的超高精度热控需求，提出一种基于模型预测的热控方法。生成透镜系统的阶跃和伪随机热扰动输入信号。采用高精度测温系统测量透镜系统的温度响应数据，运用模型辨识方法获得透镜系统的热响应模型。通过滚动优化策略推导模型预测热控制律，并建立精密透镜系统的热控实验平台。热控实验结果表明，该热控方法具有收敛速度快、抗干扰能力强、精度高的优点，温控误差可控制在±8 mK内。热相差测试结果表明，该控制方法可抑制透镜系统的焦面漂移，适合应用在对温控精度要求较高的装备领域。
文献关键词：
光学设计;模型辨识;模型预测控制;精密透镜系统
中图分类号：
作者姓名：
秦硕
作者机构：
空军航空维修技术学院航空电子系，湖南 长沙 410200;湖南省飞机维修工程技术研究中心系统维修研究室，湖南 长沙 410200
文献出处：
引用格式：
[1]秦硕-.精密透镜系统的模型预测热控方法)[J].激光与光电子学进展,2022(17):1722006
A类：
精密透镜系统
B类：
光刻,超高精度,基于模型,阶跃,热扰动,测温系统,系统测量,温度响应,响应数据,模型辨识,辨识方法,热响应,响应模型,滚动优化,热控制,控制律,实验平台,收敛速度,抗干扰能力,温控,误差可控,mK,可抑制,漂移,精度要求,装备领域,光学设计,模型预测控制
AB值：
0.32961
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