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平行度误差激光准直法测量技术研究
文献摘要：
为了实现平行度误差的精确测量,提出了基于位置敏感探测器(PSD)激光准直法的平行度误差测量方法,并设计了实验测量系统.该系统利用倒置望远镜结构二次透镜变换的方法,对准直激光束的发散角和光斑大小进行平衡,通过光学五棱镜转折光路,由PSD将测量位移经信号调理电路和数据采集及处理系统,实时得到测点相对于基准的位置,再以最小包容区域法快速评定出被测要素和基准要素两者之间的平行度误差.结果表明,系统相对不确定度为0.077％,具有较高的测量精度.该研究为平行度误差的精密测量技术提供了有效测量方法,具有一定的现实指导意义.
文献关键词：
激光技术;平行度误差;激光准直;位置敏感探测器;最小区域
中图分类号：
作者姓名：
王红敏;罗自赢;李蕾;彭俊玲
作者机构：
山东理工大学 机械工程学院,淄博255000;河南科技大学 车辆与交通工程学院,洛阳 471003;中国计量大学计量测试工程学院,杭州310018;燕山大学 电气工程学院,秦皇岛066004
文献出处：
引用格式：
[1]王红敏;罗自赢;李蕾;彭俊玲-.平行度误差激光准直法测量技术研究)[J].激光技术,2022(05):674-679
A类：
B类：
平行度误差,激光准直,测量技术研究,精确测量,位置敏感探测器,PSD,误差测量,实验测量,测量系统,倒置,望远镜,透镜,对准,激光束,发散角,光斑,棱镜,折光,光路,信号调理电路,处理系统,再以,最小包容区域,快速评定,不确定度,测量精度,精密测量技术,激光技术,最小区域
AB值：
0.332951
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