典型文献
光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量
文献摘要：
为了实现径向梯度折射率(GRIN)透镜厚度的准确测量,对偏心引起的径向GRIN透镜厚度测量误差进行了研究.介绍了光谱共焦厚度测量系统的工作原理,利用径向GRIN透镜的光线径迹方程,在笛卡尔坐标系下结合光学拉格朗日函数、光线弧微分方程等,建立了径向GRIN透镜的厚度测量模型.然后,对径向GRIN透镜偏心引起的光谱曲线谱峰漂移,进而造成的厚度测量误差进行了理论研究及仿真分析,并通过搭建实验平台,利用精密位移台驱动GRIN透镜来模拟透镜偏心,完成了偏心影响下的厚度测量.实验结果表明:径向GRIN透镜的偏心程度越大,引起的测量误差越大,轴向测量位置的影响可忽略不计,验证了理论分析的正确性;实际厚度为4.0126 mm的GRIN透镜,校正偏心后的厚度测量误差为4.6μm,验证了光谱共焦法能够实现径向GRIN透镜厚度的精密测量.
文献关键词：
光谱共焦法;厚度测量;径向梯度折射率透镜;偏心;峰值漂移
中图分类号：
作者姓名：
李春艳;李庚鹏;刘继红;罗豆;刘佳奕
作者机构：
西安邮电大学电子工程学院,陕西西安710121
文献出处：
引用格式：
[1]李春艳;李庚鹏;刘继红;罗豆;刘佳奕-.光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量)[J].光学精密工程,2022(17):2067-2076
A类：
光谱共焦法,径向梯度折射率透镜,峰漂,峰值漂移
B类：
偏心,厚度测量,GRIN,准确测量,测量误差,测量系统,光线,径迹,笛卡尔坐标系,拉格朗日函数,微分方程,测量模型,对径,光谱曲线,线谱,谱峰,实验平台,轴向测量,忽略不计,精密测量
AB值：
0.16957
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