典型文献
基于激光光栅载波技术的微位移测量方法
文献摘要：
为了提高微位移测量精度,提出一种基于激光光栅载波技术的微位移测量方法.首先根据分析旋光原理采集尺寸与偏振光沿光轴的厚度比,根据琼斯矩阵计算微位移与位移方向,然后根据激光光栅干涉条纹图计算光强,计算弯曲条纹和光栅条纹进行相位解调,获得待测量物微位移变形相位,最后根据解调出相位值得到微位移.实验证明,本方法获得了高精度微位移测量,测量的结果与输出的微位移值并没有太大的误差,最高为17 nm,测量时间均值为3.4 ms,相对于其他方法,具有十分明显的优势.
文献关键词：
激光光栅;载波技术;微位移;相位计算
中图分类号：
作者姓名：
陆国强;赵航;吴馥云
作者机构：
三江学院电子信息工程学院,南京 210012;三江学院机械与电气工程学院,南京 210012
文献出处：
引用格式：
[1]陆国强;赵航;吴馥云-.基于激光光栅载波技术的微位移测量方法)[J].激光杂志,2022(04):65-69
A类：
激光光栅
B类：
载波技术,微位移测量,测量精度,旋光,偏振光,光轴,厚度比,琼斯矩阵,矩阵计算,干涉条纹图,图计算,栅条,相位解调,位移变形,形相,调出,太大,ms,其他方法,相位计算
AB值：
0.264691
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