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高温ITO薄膜应变计结构参数影响研究
文献摘要：
以氧化铟锡(ITO)为敏感材料制备的高温薄膜应变计被广泛应用于航空发动机涡轮叶片等热端部件应变测试.为了探究高温ITO薄膜应变计结构参数对其应变灵敏度系数(GF)的影响,采用正交试验法设计了不同敏感栅长度、不同敏感栅数量的高温ITO薄膜应变计,通过仿真分析以及试验验证的方法系统研究了应变计在25℃、600℃、800℃和900℃的差别.结果表明,应变计GF随敏感栅长度的增加而变大,随敏感栅数量的增加而先增大后减小(最优中间值为6栅),最终获得敏感栅长度5mm、敏感栅数量6栅为最佳结构参数,以最佳结构参数制备的高温ITO薄膜应变计在不同温度下的GF均保持在3.2左右.研究结果对高温ITO薄膜应变计的高温性能优化有一定的指导意义.
文献关键词：
ITO;应变计;高温;航空发动机;GF
中图分类号：
作者姓名：
李剑;刘志春;周浩;李强;赵鑫;梁军生;王立鼎
作者机构：
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁 大连 116024;中国航空工业空气动力研究院高超声速气动力/热重点实验室,辽宁 沈阳 110034;大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室,辽宁 大连 116024
文献出处：
引用格式：
[1]李剑;刘志春;周浩;李强;赵鑫;梁军生;王立鼎-.高温ITO薄膜应变计结构参数影响研究)[J].航空科学技术,2022(05):69-75
A类：
B类：
ITO,薄膜应变计,参数影响,氧化铟锡,敏感材料,材料制备,航空发动机,发动机涡轮叶片,热端部件,应变测试,应变灵敏度,灵敏度系数,GF,正交试验法,敏感栅,法系,中间值,5mm,数制,高温性能,性能优化
AB值：
0.205883
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