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单晶硅的磨削辅助电火花线切割机理研究
文献摘要：
针对目前磨削辅助电火花线切割(A-WEDM)微观切割机理尚不明确的问题,以单晶硅为加工对象,通过设计电路对最大放电间隙进行了测量.通过采集和分析加工中的放电波形、观测加工后工件表面形貌同时比较磨粒出刃高度与放电间隙的大小,研究了A-WEDM材料去除机理.考察了4个因素(脉冲宽度、占空比、进给速度和线锯速度)对A-WEDM切割单晶硅的材料去除率和表面粗糙度的影响.实验结果表明,A-WEDM切割单晶硅的最大放电间隙为57μm,在加工的初始阶段先产生放电腐蚀作用;当加工处于稳定阶段时,在每个脉冲宽度内,工件材料在放电腐蚀与金刚石颗粒磨削的耦合作用下被去除;而在每个脉冲间隔内,放电腐蚀作用停止,金刚石颗粒的磨削作用仍然存在,从而去除了放电产生的部分重铸层与电蚀坑.
文献关键词：
单晶硅;磨削辅助电火花线切割;放电波形;切割机理
中图分类号：
作者姓名：
贾祯;李淑娟;麻高领;邵伟;乔畅;张晨
作者机构：
西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安,710048
文献出处：
引用格式：
[1]贾祯;李淑娟;麻高领;邵伟;乔畅;张晨-.单晶硅的磨削辅助电火花线切割机理研究)[J].中国机械工程,2022(20):2459-2467,2475
A类：
磨削辅助电火花线切割
B类：
单晶硅,电火花线切割机,切割机理,WEDM,设计电路,大放,放电间隙,放电波形,工后,工件表面,表面形貌,磨粒,出刃高度,材料去除机理,脉冲宽度,占空比,进给速度,材料去除率,表面粗糙度,初始阶段,电腐蚀,稳定阶段,金刚石颗粒,耦合作用,脉冲间隔,重铸层,电蚀,蚀坑
AB值：
0.241024
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