典型文献
基于纳米颗粒热效应的飞秒激光高效直写金属铜微结构
文献摘要：
在Cu(NO3)2前驱体溶液中添加硅纳米颗粒,采用飞秒激光在透明基底表面成功直写了导电金属铜微结构.前驱体溶液中的硅颗粒作为吸光粒子吸收激光能量后对溶液进行加热,使Cu2+还原为金属铜并沉积在基底表面.结果表明:当激光光强为5.32×109～8.51×109W·cm-2、扫描速度为100～500 mm·s-1时,微结构主要由铜、Cu2O及微量硅组成,铜含量及微结构的导电性随着光强的增加或扫描速度的降低而逐渐增加;在光强为5.32×109 W·cm-2、扫描速度为100 mm·s-1的条件下,铜微结构的方阻为0.28 Ω·sq-1,电阻率为4.67×10-6Ω·m.与已有的飞秒激光直写铜微结构的技术相比,这种方法使激光光强降低了 2个数量级,直写效率提高了 1～3个数量级.
文献关键词：
激光技术;飞秒激光;激光直写技术;吸光粒子;铜微结构;导电性
中图分类号：
作者姓名：
崔梦雅;黄婷;肖荣诗
作者机构：
北京工业大学材料与制造学部,北京100124
文献出处：
引用格式：
[1]崔梦雅;黄婷;肖荣诗-.基于纳米颗粒热效应的飞秒激光高效直写金属铜微结构)[J].中国激光,2022(08):155-165
A类：
铜微结构,吸光粒子,109W
B类：
纳米颗粒,热效应,NO3,前驱体,激光能量,Cu2+,原为,扫描速度,Cu2O,微量硅,铜含量,导电性,方阻,sq,电阻率,飞秒激光直写,数量级,效率提高,激光技术,激光直写技术
AB值：
0.229478
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
