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复合分子泵牵引级参数对氦质谱检漏仪性能的影响研究
文献摘要：
复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件,其自身的几何参数在影响抽气性能的同时也影响检漏仪的检测性能.基于分子泵抽气基本理论,建立了复合分子泵牵引级的计算模型,通过改变螺旋升角、牵引槽深度和转子与定子的间隙,分别计算了复合分子泵牵引级对氦质谱检漏仪涉及到的2种气体——空气和氦气在不同工况下的抽气性能,研究了复合分子泵牵引级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响.结果表明,随着螺旋升角和牵引槽深度增大,氦质谱检漏仪的灵敏度均先提高后下降;增大转子与定子间隙,不利于氦质谱检漏仪灵敏度的提高;选取螺旋升角为22°、牵引槽深为2.5 mm、转子与定子间隙为0.3 mm时,氦质谱检漏仪具有较高的灵敏度,同时复合分子泵牵引级性能可靠且结构安全.
文献关键词：
牵引级;螺旋升角;牵引槽深度;转子与定子间隙;检漏仪灵敏度
中图分类号：
作者姓名：
李博;侯德峰;王晓冬;巴德纯
作者机构：
东北大学机械工程与自动化学院,沈阳 110819;中国汽车工业工程有限公司,天津 300110
文献出处：
引用格式：
[1]李博;侯德峰;王晓冬;巴德纯-.复合分子泵牵引级参数对氦质谱检漏仪性能的影响研究)[J].真空与低温,2022(02):193-199
A类：
复合分子泵,牵引级,牵引槽深度,转子与定子间隙,检漏仪灵敏度
B类：
氦质谱检漏仪,几何参数,抽气性能,检测性能,泵抽,气基,变螺旋,螺旋升角,和转子,氦气,不同工况,大转子,深为,级性能,结构安全
AB值：
0.109054
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