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复合分子泵涡轮级参数对氦质谱检漏仪性能的影响研究
文献摘要：
复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件,其自身的几何参数在影响抽气性能的同时,也影响着检漏仪的检测性能.本文基于分子泵抽气基本理论,建立复合分子泵涡轮级的计算模型,通过改变叶片倾角、叶片数目、叶片高度和叶片厚度,分别计算了复合分子泵涡轮级对空气和氦气的抽气性能,研究了复合分子泵涡轮级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响.结果表明:减小叶片倾角、增加叶片数目和叶片高度、增大叶片厚度有利于氦质谱检漏仪检测灵敏度的提高;综合考虑分子泵的抽气性能和氦质谱仪的检测灵敏度,选取叶片倾角25°,涡轮叶片数目25个到30个,叶片高度3mm,叶片厚度0.6mm到0.8mm最优.
文献关键词：
复合分子泵;涡轮级;叶片参数;氦质谱检漏仪;检测灵敏度
中图分类号：
作者姓名：
李博;侯德峰;王晓冬;巴德纯
作者机构：
东北大学机械工程与自动化学院,辽宁 沈阳 110819;中国汽车工业工程有限公司,天津 300110
文献出处：
引用格式：
[1]李博;侯德峰;王晓冬;巴德纯-.复合分子泵涡轮级参数对氦质谱检漏仪性能的影响研究)[J].真空,2022(04):1-7
A类：
复合分子泵
B类：
涡轮级,氦质谱检漏仪,几何参数,抽气性能,检测性能,泵抽,气基,叶片倾角,叶片数,叶片厚度,氦气,小叶,检测灵敏度,质谱仪,涡轮叶片,3mm,6mm,8mm,叶片参数
AB值：
0.16768
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