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基于扫描电子显微镜的二次电子发射系数测量
文献摘要：
二次电子发射特性对许多领域的真空器件有着重要的影响,准确测量二次电子发射系数至关重要.本文介绍了一种基于扫描电子显微镜的二次电子发射系数的测量方法.利用扫描电子显微镜电子束流的高稳定性和电子能量的宽范围可调的特性,引入法拉第杯样品台,通过改变电子束扫描速度,放大倍数及聚焦状态等电镜参数,对平滑Ag的二次电子发射系数进行测量.结果显示,平滑Ag的二次电子发射系数不受电镜参数影响,且与参考文献测量结果相符合.本测试方法对于研究材料宽电子能量范围的二次电子发射特性具有重要的参考意义.
文献关键词：
二次电子发射;二次电子发射系数测量;扫描电子显微镜;真空系统;宽电子能量范围
中图分类号：
作者姓名：
蔡亚辉;王丹;贺永宁
作者机构：
西安交通大学电子与信息学部微电子学院 西安710049;西安市微纳电子与系统集成重点实验室 西安710049
文献出处：
引用格式：
[1]蔡亚辉;王丹;贺永宁-.基于扫描电子显微镜的二次电子发射系数测量)[J].真空科学与技术学报,2022(09):654-657
A类：
二次电子发射系数测量,宽电子能量范围
B类：
准确测量,电子束流,高稳定性,宽范围,入法,法拉第杯,样品台,变电,扫描速度,放大倍数,Ag,参数影响,参考文献,相符合,真空系统
AB值：
0.12933
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