典型文献
空气环境中镀银表面二次电子发射劣化机理
文献摘要：
暴露于空气中的金属受环境影响,表面会产生吸附、沾污和氧化等表面改性作用,引起二次电子产额(secondary electron yield,SEY)变化.为探究银表面改性对SEY的影响,使用加热、有机清洗、离子清洗实现了多种银表面状态.实验结果显示,加热能够去除部分表面吸附和沾污,并使得SEY降低;离子清洗在去除表面吸附和沾污的同时还能够剥离表面氧化层,获得高度洁净的表面.离子清洗10/30分钟后SEY峰值由2.61降至1.73/1.70,说明剥离银表面的吸附、沾污和氧化层能使得SEY明显降低.为验证氧化对SEY的影响,使用磁控溅射制备氧化银薄膜.结果表明,氧化银SEY仅比银高0.1左右,且在斜入射下两者SEY差异更小,该结果证明银表面发生氧化不会使得SEY明显升高,并间接说明表面吸附和沾污是使得银表面SEY升高的主要因素.
文献关键词：
二次电子发射;氧化银;吸附;沾污;氧化
中图分类号：
作者姓名：
王丹;姚璐;蔡亚辉;贺永宁;徐亚男
作者机构：
西安交通大学 微电子学院,西安710049;西安市微纳电子与系统集成重点实验室,西安710049;上海推进技术研究院,上海201112
文献出处：
引用格式：
[1]王丹;姚璐;蔡亚辉;贺永宁;徐亚男-.空气环境中镀银表面二次电子发射劣化机理)[J].空间电子技术,2022(04):23-29
A类：
B类：
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AB值：
0.2922
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