典型文献
Zr/ZrVFe多孔吸气材料的表面改性研究
文献摘要：
采用磁控溅射技术在Zr/ZrVFe多孔吸气剂表面制备不同厚度的Ni膜,研究了Ni膜对吸气剂吸气性能的影响,利用SEM和EDS技术分析了吸气剂表面形貌及元素组成,通过定容法研究了吸气剂室温吸气性能.结果表明:吸气剂激活过程中,H2O、CO2和CO/N2在350℃以下就已脱附;当激活温度达到350～450℃时,脱附气体只剩H2和CH4,CH4为吸气剂脱附产生的H2与四极质谱计灯丝发生反应所得;制备的Ni膜均匀覆盖在吸气剂表面,不会改变吸气剂的表面形貌;进行Ni膜表面改性后,吸气剂的吸气容量明显增大,且镀膜2h所得吸气剂的平衡压最小,吸附性能最好.
文献关键词：
Zr/ZrVFe;多孔吸气材料;表面改性;Ni膜
中图分类号：
作者姓名：
孙雯君;冯欣格;宋伊;裴晓强;吴成耀
作者机构：
兰州大学物理科学与技术学院,甘肃 兰州 730000;兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,甘肃 兰州 730000
文献出处：
引用格式：
[1]孙雯君;冯欣格;宋伊;裴晓强;吴成耀-.Zr/ZrVFe多孔吸气材料的表面改性研究)[J].真空,2022(06):17-21
A类：
ZrVFe,多孔吸气材料,四极质谱计
B类：
表面改性,改性研究,磁控溅射技术,吸气剂,表面制备,气性,EDS,表面形貌,元素组成,定容,激活过程,H2O,N2,脱附,CH4,灯丝,镀膜,2h,吸附性能
AB值：
0.199017
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