典型文献
磁控溅射法制备铝镁合金镀层及其性能研究
文献摘要：
在镀锌板表面应用磁控溅射技术制备Al-Mg合金镀层并研究其性能,通过改变Al靶与Mg靶功率控制Al-Mg合金成分,改变温度、Ar气压强和溅射时间确定最佳磁控溅射工艺.研究表明:使用磁控溅射方法制备的Al-Mg合金镀层光泽度好,表面光滑平整,Al-Mg合金镀层晶体颗粒均匀,合金化程度很好,膜的附着性也较好;检测Al-Mg镀层的主要组分为Al12Mg17,择优取向为(411);通过电化学试验和盐雾试验表明,Al-Mg合金镀层有着良好的耐腐蚀性.最佳工艺条件:Mg靶功率为8.5W,Al靶功率为565W,基片温度为200℃,pAr=0.3Pa,镀层的成分为:Mg为4.12wt％,Al为95.88wt％,此工艺条件下镀层耐腐蚀可达96小时.
文献关键词：
镀锌板;磁控溅射;Al-Mg合金镀层;耐蚀性
中图分类号：
作者姓名：
张宇
作者机构：
辽宁开放大学,辽宁沈阳 110034
文献出处：
引用格式：
[1]张宇-.磁控溅射法制备铝镁合金镀层及其性能研究)[J].电大理工,2022(03):7-12
A类：
565W,pAr,88wt
B类：
磁控溅射法,铝镁合金,镀层,镀锌板,磁控溅射技术,功率控制,合金成分,变温,溅射时间,射工,光泽度,表面光,合金化,附着性,主要组分,Al12Mg17,择优取向,电化学试验,盐雾试验,耐腐蚀性,最佳工艺,工艺条件,基片,3Pa,12wt,耐蚀性
AB值：
0.277813
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