典型文献
基于气体吸附的碳纳米管场发射氦气传感技术研究
文献摘要：
氦气分压测量在检漏技术、液氦装置质量监控等方面具有重要的应用价值.基于气体吸附的碳纳米管场发射阴极小电流发射增强效应,开发了低压He压力传感技术.采用热化学气相沉积法(HCVD)在镍合金基底上制备了多壁碳纳米管(MWNT)薄膜样品,利用二极式结构对MWNT薄膜阴极的场发射与传感性能进行了研究.结果显示,在10-7～10-3 Pa区间,部分样品的场发射电流随着真空系统He压力的升高而增大,呈现He压力传感效应.对大量样品的测试发现,晶体性差(ID/IG≥0.9)的MWNT薄膜阴极对He有强烈的传感特性.第一性原理研究表明:He吸附在MWNTs的缺陷部位后,电荷的转移以及聚集效应是MWNT薄膜阴极产生He压力传感效应的关键因素.该传感技术具有开发为微型氦气检漏与分压力测量器件的潜力.
文献关键词：
多壁碳纳米管;场发射;He传感;晶体性;第一性原理
中图分类号：
作者姓名：
刘瑞姿;王杰;董长昆
作者机构：
温州大学 温州市微纳光电器件重点实验室,浙江 温州 325035
文献出处：
引用格式：
[1]刘瑞姿;王杰;董长昆-.基于气体吸附的碳纳米管场发射氦气传感技术研究)[J].真空与低温,2022(04):432-437
A类：
HCVD,MWNT
B类：
气体吸附,传感技术,气分,压测,检漏技术,液氦,质量监控,场发射阴极,极小,小电流,增强效应,He,压力传感,热化学,化学气相沉积法,镍合金,多壁碳纳米管,式结构,传感性能,Pa,分样,真空系统,晶体性,ID,IG,传感特性,第一性原理研究,MWNTs,电荷,聚集效应,发为,氦气检漏,压力测量,测量器
AB值：
0.334817
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