典型文献
氮化铬反应磁控溅射的状态空间模型预测控制
文献摘要：
为了制备出具有优良摩擦性能的氮化铬薄膜,采用了状态空间模型预测控制对氮气流量进行连续稳定控制.本文运用了靶电压控制法对氮气流量进行快速反馈控制,通过反应磁控溅射实验收集氮气流量与靶电压的迟滞效应数据,使用系统辨识法得到被控对象的数学模型,利用状态空间模型预测算法进行控制,并与PID控制对比研究.仿真结果表明状态空间模型预测控制的调节时间比PID控制快16s,阶跃扰动比PID控制小七倍,模型预测控制具有更好的控制效果.在实验中应用状态空间模型预测控制氮气流量,制备的氮化铬薄膜进行摩擦系数的测试为0.7,实验达到预期效果.
文献关键词：
摩擦性能;状态空间模型预测控制;氮化铬薄膜;系统辨识;迟滞现象
中图分类号：
作者姓名：
孔令刚;王壮;黄凯
作者机构：
兰州交通大学光热储能综合能源系统工程研究中心 兰州730000;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 兰州730000
文献出处：
引用格式：
[1]孔令刚;王壮;黄凯-.氮化铬反应磁控溅射的状态空间模型预测控制)[J].真空科学与技术学报,2022(07):511-516
A类：
状态空间模型预测控制,系统辨识法,七倍
B类：
反应磁控溅射,摩擦性能,氮化铬薄膜,氮气流量,稳定控制,电压控制,控制法,反馈控制,迟滞效应,被控对象,模型预测算法,PID,调节时间,16s,阶跃扰动,摩擦系数,预期效果,迟滞现象
AB值：
0.171556
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