典型文献
基于磁过滤沉积技术TiAlCr基多元结构调控及性能
文献摘要：
科技发展使军用、船舶、切削等各领域的精密器件所面临的环境更加极端复杂,多元防护涂层因具有良好的综合性能而逐渐取代传统的二三元氮化物,但目前关于TiAlCr基多元涂层结构与性能的影响研究尚未报道.通过调控氮气流量(5≤FN≤40mL/min),基于磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术制备TiAlCr基的多元(TiAlCrSi)N涂层.采用FESEM、EDS、XRD、XPS和TEM对涂层的相结构、形貌和成分进行表征,并通过纳米压痕仪、划痕仪和电化学工作站对涂层性能进行表征.结果表明:随着氮气流量增加,涂层由无序致密的非晶相转变为具有柱状晶的(TiAlCr)N纳米晶/Si3N4非晶相的复合结构.FN≤20 mL/min时,涂层结构以均匀致密的非晶相为主;FN=20mL/min时,涂层的结合强度LC3(27.1 N)较高,在3.5 wt.％NaCl溶液中拥有较好的耐腐蚀性能(Ecorr=-0.314 V,Icorr=2.903 8 μA·cm-2);FN≥30 mL/min时,涂层结构转变为具有柱状晶的(TiAlCr)N纳米晶/Si3N4非晶相复合结构,涂层的硬度得到显著提升,达到超硬级别;FN=40 mL/min时,涂层拥有良好的力学性能,硬度、弹性模量、H/E和H3/E2分别为45.11、460.4、0.098和0.433 GPa.通过FCVA制备的(TiAlCrSi)N涂层具有优异的耐腐蚀和力学性能,可为表面防护技术在复杂苛刻环境中的发展提供参考.
文献关键词：
磁过滤真空阴极弧;复合结构;超硬涂层;耐腐蚀性
中图分类号：
作者姓名：
吴帅;赵艺蔓;刘爽;陈淑年;覃礼钊;廖斌;陈琳;张旭;张同华;王可平;赵仁兵
作者机构：
西南大学材料与能源学院 重庆 400715;北京师范大学射线束技术教育部重点实验室 北京 100875;金猫纺织器材有限公司 重庆 400715
文献出处：
引用格式：
[1]吴帅;赵艺蔓;刘爽;陈淑年;覃礼钊;廖斌;陈琳;张旭;张同华;王可平;赵仁兵-.基于磁过滤沉积技术TiAlCr基多元结构调控及性能)[J].中国表面工程,2022(06):150-160
A类：
TiAlCr,TiAlCrSi
B类：
沉积技术,基多,多元结构,结构调控,军用,切削,防护涂层,二三,氮化物,涂层结构,结构与性能,控氮,氮气流量,FN,40mL,磁过滤阴极真空弧,FCVA,FESEM,EDS,XPS,TEM,相结构,纳米压痕,压痕仪,划痕,电化学工作站,涂层性能,非晶,晶相转变,柱状晶,纳米晶,Si3N4,复合结构,20mL,结合强度,LC3,wt,NaCl,耐腐蚀性能,Ecorr,Icorr,结构转变,弹性模量,H3,E2,GPa,表面防护技术,苛刻,磁过滤真空阴极弧,超硬涂层
AB值：
0.368936
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