典型文献
达曼光栅的设计与制作方法探讨
文献摘要：
研究基于二元光学的达曼光栅理论和设计方法,设计5x5分束达曼光栅.分别采用"减法"和"加法"加工方案制备器件."减法"工艺方案包括,优化了氧化硅光栅制作中曝光、显影及深刻蚀工艺参数等关键工艺技术;"加法"工艺方案研究了氮化硅薄膜的制备及刻蚀工艺的问题.研究并制备了两种工艺方法的达曼光栅器件.实验结果表明,"减法"工艺方案的零级衍射场均匀分布的5×5点阵,总的衍射效率达到53％,不均匀性仅为0.19％;"加法"工艺方案的总的衍射效率为59％,不均匀性仅为0.16％;实验结果与理论设计的相符,验证了理论设计与工艺技术的可靠性.
文献关键词：
达曼光栅;设计;制作;衍射效率
中图分类号：
作者姓名：
王晓玲;周哲海;周丽
作者机构：
北京信息科技大学机械行业现代光电测试技术重点实验室,北京 100192
文献出处：
引用格式：
[1]王晓玲;周哲海;周丽-.达曼光栅的设计与制作方法探讨)[J].激光杂志,2022(02):15-20
A类：
5x5
B类：
达曼光栅,设计与制作,制作方法,分束,减法,加法,加工方案,工艺方案,氧化硅,硅光,曝光,刻蚀工艺,关键工艺技术,方案研究,氮化硅薄膜,工艺方法,零级,均匀分布,点阵,衍射效率,不均匀性,理论设计
AB值：
0.289648
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