典型文献
混合型计算全息图检测低反射率非球面(特邀)
文献摘要：
计算全息图被广泛应用于高精度离轴非球面面形检测,为提升低反射率材料检测过程中的条纹对比度,提出了一种混合型计算全息图,对准区域使用反射型全息图,基于衍射效率模型给出了最佳对比度对应的膜层反射率,主区域使用位相型全息图实现衍射效率的提升,从而提升检测区域的条纹对比度.通过多步半导体工艺实现混合全息图的加工,并对某微晶材料离轴非球面进行检测,实验结果表明:该混合型计算全息图可以获得清晰的条纹对比度,最终检测精度优于0.02λ(λ=632.8 nm),该混合型计算全息图可广泛应用于低反射率非球面检测.
文献关键词：
计算全息图;低反射率;衍射效率;条纹对比度
中图分类号：
作者姓名：
国成立;郑德康;朱德燕;杨晓飞;李元正;张健;赵烈烽
作者机构：
浙江舜宇光学有限公司,浙江余姚315400;浙江大学光电科学与工程学院,浙江杭州310027;南京航空航天大学空间光电探测与感知工信部重点实验室,江苏南京211106;南京航空航天大学航天学院,江苏南京211106;苏州大学光电科学与工程学院,江苏苏州215006
文献出处：
引用格式：
[1]国成立;郑德康;朱德燕;杨晓飞;李元正;张健;赵烈烽-.混合型计算全息图检测低反射率非球面(特邀))[J].红外与激光工程,2022(09):97-103
A类：
B类：
混合型,计算全息图,低反射率,特邀,离轴非球面,非球面面形,面形检测,材料检测,检测过程,条纹对比度,对准,区域使用,衍射效率,效率模型,膜层,位相,多步,半导体工艺,微晶材料,检测精度,非球面检测
AB值：
0.225112
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