典型文献
采用干法刻蚀进行微通道板扩口理论模型研究
文献摘要：
开口面积比是微通道板(MCP)重要的性能指标,在MCP输入面进行扩口,对于MCP的探测效率、噪声因子等参数有显著的提升作用,在微光夜视仪、粒子探测器等军用、民用领域具有巨大的应用潜力.采用湿法腐蚀进行微通道板扩口,面临工艺一致性差、选择性腐蚀造成锥度尺寸难以达标等难题,实质性批量应用非常困难.针对扩口MCP难以制作和应用的问题,提出一种采用干法刻蚀进行MCP扩口的方法,阐述了干法刻蚀进行MCP扩口原理及可行性.通过建立理论模型研究干法刻蚀工艺参数如刻蚀角度、刻蚀时间等对于MCP开口面积比、通道内刻蚀深度、通道内壁刻蚀锥度等性能参数的影响,计算出合适的工艺参数范围,为开展实验研究奠定了基础.
文献关键词：
扩口微通道板;干法刻蚀;开口面积比;理论模型
中图分类号：
作者姓名：
邱祥彪;闵信杰;金戈;孙建宁;王健;丛晓庆;张正君;徐昭;潘凯;任玲;张振;乔芳建;聂慧君;黄国瑞;陈晓倩;胡泽训;林焱剑;刘丹;杨晓明
作者机构：
北方夜视科技(南京)研究院有限公司,江苏 南京 211106
文献出处：
引用格式：
[1]邱祥彪;闵信杰;金戈;孙建宁;王健;丛晓庆;张正君;徐昭;潘凯;任玲;张振;乔芳建;聂慧君;黄国瑞;陈晓倩;胡泽训;林焱剑;刘丹;杨晓明-.采用干法刻蚀进行微通道板扩口理论模型研究)[J].红外技术,2022(08):818-823
A类：
微光夜视仪,扩口微通道板
B类：
干法刻蚀,开口面积比,MCP,探测效率,噪声因子,提升作用,粒子探测,探测器,军用,民用领域,湿法腐蚀,工艺一致性,锥度,刻蚀工艺,刻蚀深度,内壁,性能参数,参数范围
AB值：
0.214643
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