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微通道板输入电极对开口面积比的影响及改进研究
文献摘要：
微通道板作为一种关键的电子倍增器件,广泛应用于诸多领域.分析了NiCr膜层作为微通道板的输入端电极时,对微通道板开口面积比的影响,建立了理论模型,计算了膜层厚度、镀膜深度等参数对开口面积比的影响.开展了2种减小开口面积比损失的镀膜研究:一是进行工艺调整,减弱合金蒸发的分馏效应,降低电极膜层的电阻率,开口面积比损失量降低约2％;二是改变镀膜方式,使用Ni、Cr金属单质镀制叠层薄膜,在镀膜过程中调控镍、铬的比例,将输入端电极中镍比例升高,同样可以降低电极膜层的电阻率,在满足面电阻要求的前提下,可减薄输入端膜层至86 nm,与300 nm厚度的常规镍铬合金膜层相比,MCP输入端的开口面积比损失量降低3％～4％,MCP增益提升6％.
文献关键词：
微通道板;开口面积比;输入电极;叠层薄膜电极
中图分类号：
作者姓名：
王鹏飞;邱祥彪;邵爱飞;孙赛林;丛晓庆;金戈;孙建宁;王健;乔芳建;高鹏;赵胜;陈坤杨
作者机构：
北方夜视科技(南京)研究院有限公司,江苏南京 211106;北方夜视技术股份有限公司,云南昆明 650217
文献出处：
引用格式：
[1]王鹏飞;邱祥彪;邵爱飞;孙赛林;丛晓庆;金戈;孙建宁;王健;乔芳建;高鹏;赵胜;陈坤杨-.微通道板输入电极对开口面积比的影响及改进研究)[J].应用光学,2022(06):1158-1164
A类：
输入电极,叠层薄膜电极
B类：
微通道板,开口面积比,改进研究,电子倍增器,NiCr,端电极,膜层厚度,镀膜,小开口,工艺调整,分馏效应,电阻率,损失量,金属单质,面电阻,减薄,镍铬合金,合金膜,MCP
AB值：
0.208487
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