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飞秒激光辅助化学刻蚀透明材料微孔加工研究进展
文献摘要：
飞秒激光辅助化学刻蚀加工技术在高质量、高深径比、高可控性的微孔加工方面独具优势,为微孔的制备提供了新的途径和方法.在微全分析系统、光纤中的三维光流控系统、谐振器制造中具有很大的应用潜力.本文综述了近年来飞秒激光辅助化学刻蚀加工透明介质材料的研究进展,包括飞秒激光改性区对刻蚀速率影响、强酸强碱化学溶液对刻蚀效果的影响、化学刻蚀步骤工艺的优化、飞秒激光辅助化学刻蚀加工方法的应用等,总结了飞秒激光辅助化学刻蚀微通道、结构加工机理以及工艺等方面面临的挑战,并对今后的研究重点进行了展望.
文献关键词：
激光光学;飞秒激光;化学刻蚀;透明材料
中图分类号：
作者姓名：
王宇;夏博;万露露;李春杨l
作者机构：
石河子大学机械电气工程学院,新疆石河子832003;兵团工业技术研究院,新疆石河子832003
文献出处：
引用格式：
[1]王宇;夏博;万露露;李春杨l-.飞秒激光辅助化学刻蚀透明材料微孔加工研究进展)[J].激光与光电子学进展,2022(19):93-104
A类：
B类：
飞秒激光辅助,化学刻蚀,透明材料,微孔加工,加工研究,加工技术,高深径比,可控性,途径和方法,光纤,光流控,谐振器,介质材料,激光改性,刻蚀速率,强酸,强碱,碱化,化学溶液,加工方法,微通道,加工机理,激光光学
AB值：
0.267507
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