典型文献
基于带状线的新型八通道微波等离子体射流装置
文献摘要：
相比于直流、交流和射频等离子体,微波等离子体具有无需电极、电子密度大、电子温度高和能量效率高等优势,广泛应用于材料表面改性、污水处理、废气处理、污染物降解等众多领域.传统的零维和一维等离子体射流都不能用于处理大面积,而能处理大面积的等离子体射流装置体积又较大.因此,本文设计了一种基于带状线,用于处理大面积的小型八通道等离子体射流装置,利用电磁理论、DRUDE模型和有限元算法计算了所设计器件的尺寸,并搭建了一个实验系统,在入射微波功率为95 W时,仅检测到9 W的反射功率,与仿真结果吻合较好.
文献关键词：
微波等离子体;小型;处理大面积;带状线
中图分类号：
作者姓名：
付刚;黄卡玛;钟南亚
作者机构：
四川大学电子信息学院,四川成都 610065
文献出处：
引用格式：
[1]付刚;黄卡玛;钟南亚-.基于带状线的新型八通道微波等离子体射流装置)[J].真空电子技术,2022(02):92-96
A类：
DRUDE
B类：
带状线,八通道,微波等离子体,等离子体射流,射频等离子体,电子密度,电子温度,温度高,能量效率,表面改性,污水处理,废气处理,污染物降解,零维,处理大面积,能处,电磁理论,有限元算法,算法计算,实验系统,入射,微波功率,反射功率
AB值：
0.306495
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
