典型文献
铝栅极降低氧化铟锡薄膜表面电阻
文献摘要：
大面积钙钛矿电池组件效率一直比小面积电池最高效率低10％左右,其中透明导电氧化物(TCO)电极的横向电阻是构成串联电阻增加的主要因素.本文采用湿法刻蚀的方法在超白玻璃上制备了深达1-2 μm的凹槽,横向宽度最小为10μm,随后蒸镀金属铝,射频溅射沉积氧化铟锡(ITO)薄膜,通过调控刻蚀各参数,得到良好的铝栅极形状.对比分析有无铝栅极的ITO薄膜,结果表明,有铝栅极的ITO薄膜相较无铝栅极的ITO薄膜,平均透过率下降约3.5％,横向电阻从17.4 Ω降至2.4Ω,得到明显改善.并可通过调控刻蚀厚度,可使横向电阻进一步降低,从而显著提升ITO薄膜在太阳能电池领域里作为透明导电电极时横向电子收集能力,对以玻璃为基底的薄膜太阳能电池大面积产业化应用提供了可能.
文献关键词：
超白玻璃;湿法刻蚀;氧化铟锡薄膜;太阳能电池
中图分类号：
作者姓名：
付潇潇;郑卓;王取泉;李建民;肖旭东
作者机构：
武汉大学物理科学与技术学院 武汉 430072
文献出处：
引用格式：
[1]付潇潇;郑卓;王取泉;李建民;肖旭东-.铝栅极降低氧化铟锡薄膜表面电阻)[J].真空科学与技术学报,2022(06):430-435
A类：
B类：
栅极,低氧化,氧化铟锡薄膜,表面电阻,钙钛矿电池,电池组,小面积,透明导电氧化物,TCO,成串,串联电阻,湿法刻蚀,超白玻璃,深达,凹槽,横向宽度,蒸镀,镀金,金属铝,射频溅射,溅射沉积,ITO,无铝,透过率,导电电极,薄膜太阳能电池,产业化应用
AB值：
0.345233
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