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典型文献
中波红外减反射硬质薄膜研究进展(特邀)
文献摘要:
中波红外即3~5μm波段红外线,在大气中具有良好的透过率.中波红外探测器被广泛应用于红外制导、红外成像、气体检测分析、空间遥感等领域.为提高系统性能和增强探测器对各种恶劣工作环境的抵抗力,在光学窗口和薄膜表面常镀制高硬度薄膜进行保护.本文从硬质薄膜入手,阐述了中波红外减反射硬质薄膜的设计、材料选择及应用,根据不同材料体系总结了金属氧化物、氮化物、类金刚石及碳化物薄膜等常见中波红外波段硬质薄膜的光学、力学性能等,并概述了晶界强化、模量差理论、纳米复合材料等目前主要的薄膜硬度强化方法.
文献关键词:
中波红外;减反射;硬质薄膜;力学性能;透射率
作者姓名:
朱泽宇;潘雨婷;吴晗;温俊仁;郝凌云;高程;杨陈楹;邵宇川;邵建达
作者机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所 薄膜光学实验室,上海 201800;中国科学院大学,北京 100049;国科大杭州高等研究院,杭州 310024
文献出处:
引用格式:
[1]朱泽宇;潘雨婷;吴晗;温俊仁;郝凌云;高程;杨陈楹;邵宇川;邵建达-.中波红外减反射硬质薄膜研究进展(特邀))[J].光子学报,2022(09):61-77
A类:
B类:
减反射,硬质薄膜,特邀,红外线,透过率,中波红外探测器,红外制导,红外成像,气体检测,检测分析,空间遥感,系统性能,抵抗力,光学窗口,高硬度,材料选择,不同材料,材料体系,金属氧化物,氮化物,金刚石,碳化物,红外波段,晶界,模量差,纳米复合材料,强化方法,透射率
AB值:
0.321461
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